Пространственное сверхразрешение

Оптические системы обеспечивают высокую точность при определении z-координаты. В настоящее время системы на основе низкогерентного освещения достигают разрешения 0,1 нм.

Однако пространственное разрешение ограничивается физическим пределом оптической микроскопии — 0.5 длины волны, используемой для освещения (~200 нм).

Разрабатываемая система основана на анализе 3D профиля изучаемой поверхности при перемещении матрицы на долю единичного фотодетектора. Используемые математические алгоритмы анализа обеспечивают разрешение, превышающее дифракционный предел. Подобные системы способны приблизить оптические системы по пространственному разрешению к электронным микроскопам.